标题：高于120X的放大倍数就适合采用电子显微镜(SEM)
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作者:yiyi发布
时间:2014-6-4 17:13:41
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正文:
高于120X的放大倍数就适合采用电子显微镜(SEM)
一般而言，对高于120X的放大倍数，常采用扫描电子显微镜(SEM)，因为它
有较大的景深和较高的清晰度。遗憾的是，SEM观察只能给出黑白图像。
元件(用于SEM)在观察期间通常处在真空室内，不便于电参数测量。为了克
服这些困难，我们利用了高放大倍数的电子显微镜和探测台。进行集成电路
(IC)故障分析时，将封装(陶瓷封装或塑料封装)打开，露出芯片，便能对整
个集成电路进行观察、照相和探测。找出集成电路每个部分的输出.这是采
用高放大倍数电子显微镜的主要原因。
这类显微镜有一些细微差别。机械圆筒的长度较长、185~250mm)，以便
放置反射照明器具。物镜也未对山使用样品切片的玻璃片(它是标准透射光
型显微镜放置样品切片所必需的)引起的球面像差进行校正。在大多数情况
下，电子金相显微镜上的物镜具有不同的螺纹尺寸，
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科